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了解真空磁控濺射鍍膜技術中的等離子體形成

發布時間:2022-02-26  點擊次數:158 次
  在真空磁控濺射鍍膜技術中的等離子體,一般是電場作用下通過工作氣體放電形成的。構成分子的原子獲得很大的的動能,開始彼此分離,原子的外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子,失去電子的原子變成正離子,這一過程叫電離。
  等離子體是一種電離氣體,是離子、電子和高能原子等的集合體;正離子和電子總是成對的出現,總數大致相等,整體呈準電中性,它是一種由帶電粒子組成的電離狀態,稱為物質的第四態-等離子態。
  對氣體放電形成等離子體施加電壓或電場,伴隨導電離子、粒子、電子等的移動,在等離子體中會流過電流,這就是等離子體的導電性。
  在氣相沉積過程中,工作氣體和靶材金屬原子被高能電子撞擊電離為由電子、氣體離子和金屬離子等導電粒子組成的等離子體。
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